特許
J-GLOBAL ID：200903040259502036
移動中の金属板上に形成された絶縁性被膜の厚さ測定装置、およびその測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 恭介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-125571
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297006
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目 的】 測定開始に行なう0調整を不要とし、金属板が上下にぶれた状態でも正確な厚さが測定できる移動中の金属板上に形成された絶縁性被膜の厚さ測定装置、およびその測定方法を提供する。【構 成】 センサ部11は、静電容量用主電極と、渦電流用コアとをセンサ部とし、当該センサ部を芯にしてコイル16を巻回し、さらに、センサ部と同じ平面に配置されたガード電極13と、ガード電極上に絶縁的に載置したアース電極15とから構成される。補正値設定部は、渦電流用コアによって金属板の表面と主電極との変位を測定する。静電容量検出部は、金属板の表面と主電極との間の静電容量を測定する。演算部は、静電容量検出部から得られた値を補正値設定部から得られた補正値によって金属板上21の絶縁性被膜22の厚さを演算する。
請求項（抜粋）：
移動中の金属板上に形成された絶縁性被膜の厚さ測定装置において、導電体部材と、当該導電体部材の周囲に巻回された渦電流用コイルとからなる静電容量用主電極および渦電流用コアとを兼用するセンサ部と、前記センサ部と同一平面になると共に、センサ部に対して絶縁的に設けられたガード電極と、当該ガード電極の上部に絶縁部材を介して載置された板状アース電極と、前記渦電流用コアによって、金属板の表面と渦電流用コアとの変位を測定し、金属板の表面と渦電流用コアとの補正距離を得る補正値設定部と、前記静電容量用主電極によって金属板の表面と静電容量用主電極との間の静電容量を測定する静電容量検出部と、当該静電容量検出部から得られた値を前記補正値設定部から得られた補正値によって上記金属板上の絶縁性被膜の厚さを演算する厚さ演算部と、を備えていることを特徴とする移動中の金属板上に形成された絶縁性被膜の厚さ測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 7/10 Z
, G01B 7/00 E
