特許
J-GLOBAL ID：200903040259907621
合成石英ガラス部材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-328613
公開番号（公開出願番号）：特開平6-157049
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明はエステルシランの酸水素火炎中での燃焼によって得た多孔質シリカ焼結体を加熱溶融して合成石英部材を製造する方法において、ここに得られる合成石英ガラス部材を粘度が高く、高温耐熱性のものとする合成石英ガラス部材の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、一般式R1nSi(OR2)4-n(ここにR1は水素原子、メチル基またはエチル基、R2はメチル基またはエチル基、nは0〜4の正数)で示されるエステルシランの燃焼で得られた多孔質シリカ焼結体を加熱溶融して合成石英ガラス部材を製造する方法において、同心円状の複数本のノズルからなる多重管バーナーの中心ノズルから原料ガスとキャリアガスを導入し、二重管目からは酸素ガスと不活性ガスとの混合ガスを、さらにその外方管からは水素ガスと酸素ガスの順で導入し、可燃性の原料ガスが必要とする酸素理論量に対して二重管目から導入する酸素ガス量をその 0.6〜1.2 倍量とすることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
一般式 R1nSi(OR2)4-n(ここにR1は水素原子、メチル基またはエチル基、R2はメチル基またはエチル基、nは0〜4の正数)で示されるエステルシランの燃焼で得られた多孔質シリカ焼結体を加熱溶融して合成石英ガラス部材を製造する方法において、同心円状の複数本のノズルからなる多重管バーナーの中心ノズルから原料ガスとキャリアガスを導入し、二重管目からは酸素ガスと不活性ガスとの混入ガスを、さらにその外方管からは水素ガス、酸素ガスの順で導入し、可燃性の原料ガスが必要とする酸素理論量に対して二重管目から導入する酸素ガス量をその 0.6〜1.20倍量とすることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。
IPC (3件)：
C03B 8/04
, C03B 20/00
, C03B 37/018
