特許

J-GLOBAL ID：200903040260176967

倍率、傾斜角測定法

発明者： 沼尾 義紀 ,  下津 輝穂 ,  金村 崇
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107046
公開番号（公開出願番号）：特開平10-302703
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】試料傾斜角度は更正された装置の指示値で知る事ができるが、装置の動作のヒステリシスや試料位置のわずかな差によって指示値と異なるため、厳密な値は得られない。【解決手段】電子顕微鏡用試料の薄膜化の際、検体試料にあらかじめ寸法の分かった構造を含む結晶基板を密着させておき、検体倍率、試料の正確な倍率と試料傾斜角を正確にしかも簡便に求めることができる。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡用試料の薄膜化の際、検体試料にあらかじめ寸法の分かった構造を含む結晶基板を密着させておき、検体試料の正確な倍率と試料傾斜角を正確にしかも簡便に求めることを特徴とする倍率、傾斜角測定法。

IPC (5件)：

H01J 37/22 502 ,  G01B 3/00 ,  G01B 15/00 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32

FI (5件)：

H01J 37/22 502 D ,  G01B 3/00 ,  G01B 15/00 B ,  G01N 1/32 A ,  G01N 1/28 G