特許

J-GLOBAL ID：200903040271548360

超高圧ファンジェットによる硬質被膜除去法

発明者： チダムバラム ラガーヴァン ,  ジェフリー ディー ワトソン ,  スティーヴン エス シソン
出願人/特許権者： フロー インターナショナル コーポレイション
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308041
公開番号（公開出願番号）：特開平6-278027
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【目的】 下層表面を損傷することなしに下層表面から硬質被膜を除去する方法を提供することを目的とする。【構成】 下層表面から硬質被膜を除去する方法を示し、説明する。好適な実施例では、特定の形状寸法を有するノズルを高圧流体装置に使用して超高圧流体ファンジェットを生じる。このファンジェットを清浄すべき表面を横切らせ、それにより下層表面を損傷することなしに物質層を除去する。被膜除去の効果性は、ファンジェットの適切な力分布、ファンジェットと清浄すべき表面との間に離隔距離、ファンジェットが表面を横切る速度、およびノズルの上流にある沈降室の長さおよび直径を選択することにより向上される。

請求項（抜粋）：

入口オリフィスを設けた第1端部、および出口オリフィスを設けた第2端部を有するノズルを、出口オリフィスと表面との間の距離が 0.127cm (0.5インチ) と2.54 cm (1インチ) との間になるように位置決めし、或る量の加圧流体をノズルに押し通して高圧流体ファンジェットとして出口からノズルを出るようにし、ファンジェットを 1016 cm (400 インチ)/分と 4064 cm (1600インチ)/分との間の速度で表面を横切らせることを特徴とする下層表面から物質層を除去する方法。

IPC (2件)：

B24C 1/00 ,  B24C 5/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公昭51-038067
  
• 特開昭60-168554
  
• 特公昭51-038067
  
• 特開昭60-168554