特許
J-GLOBAL ID：200903040274213113
パターン欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-105802
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281155
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】測定光学系を通したことによって「ぼやけ」の生じた測定信号を、「ぼやけ」の含まない信号に戻し、この信号を使ってパターン欠陥を検出できるパターン欠陥検査装置を提供する。【構成】ラインセンサ36から読出されたパターン測定データをA/D変換器37、バッファ回路38を介して等化回路39に導入する。この等化回路39は、入力信号を2次元的に処理して「ぼやけ」を除去するディジタルフィルタを備えている。等化回路39で処理された測定データは設計データとともに比較判定回路43に導入される。
請求項（抜粋）：
パターンの形成されている試料に光を照射し、上記パターンの光学像を受光して光電変換するラインセンサを含む測定パターンデータ取得手段と、前記試料にパターンを形成するときに用いられたパターン設計データを格納してなる記憶手段と、この記憶手段から読出されたパターン設計データをビットデータに展開するビット展開手段と、この手段で展開されたビットデータにフィルタ処理を施して得たデータと前記測定パターンデータとを比較して前記試料に形成されているパターンの欠陥有無を判定する判定手段とを備えたパターン欠陥検査装置において、前記測定パタ-ンデータを得る系で生じた画像劣化を補正する2次元ディジタルフィルタ手段を備え、この2次元ディジタルフィルタ手段は、列方向にm段、行方向にn段(m,nはそれぞれ3以上の奇数)の有限インパルス応答形をなし、前記ラインセンサの1ライン分のデ-タ遅延を施す(n-1)個の行遅延手段と、各行毎に設けられて入力データと画素位置毎に特徴付けられた重み付け係数とをそれぞれ積算するm個の積算手段および各積算手段の出力をクロック遅延させて累積加算するm個の加算手段からなるn個の列処理ユニットと、前段に位置する列処理ユニットの最終段加算器の出力を次段に位置する列処理ユニットの初段加算器にカスケ-ド入力する手段とで構成されていることを特徴とするパターン欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G03F 1/08
, G06F 15/62 400
, G06F 15/68 400
, H01L 21/027
