特許
J-GLOBAL ID：200903040286849714
感光性耐熱性樹脂前駆体の熱処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-321465
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204291
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】機械特性の良好な耐熱性樹脂膜を得る方法を提供する。【解決手段】感光性耐熱性樹脂前駆体を露光、現像後、酸素濃度100ppm以下の雰囲気で熱処理することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体の熱処理方法。
請求項（抜粋）：
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を露光、現像後、酸素濃度100ppm以下の雰囲気下で熱処理することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体の熱処理方法
IPC (2件)：
FI (2件)：
C08L 79/08 A
, C08G 85/00
