特許

J-GLOBAL ID：200903040292858849

カップ式めっき装置及びそれを用いたウェーハのめっき方法

発明者： 榊 泰彦 ,  栗原 実果
出願人/特許権者： 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-164568
公開番号（公開出願番号）：特開平11-350185
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】【課題】 アノードから生じる不純物の影響や不溶性アノードを使用した際に生じるめっき添加剤の消耗を防止するともにアノードから発生するバブルの影響も確実に解消できる技術を提供することを目的とする。【解決手段】 上端にウェーハ2を載置するウェーハ支持部3を備えためっき槽1と、めっき槽1底部中央に設けられた液供給部5と、めっき槽1内部に設けられたアノード6と、及びめっき槽1に設けられたアノード6とウェーハ2とを隔離する隔膜7とを備えたカップ式めっき装置において、隔膜7には、液供給部5から外周に向かう方向に上昇する傾斜が与えられると共に、めっき槽1には、隔膜7上端部のアノード6側に集められたバブルを抜けるような位置にガス放出口9を設けたものとした。

請求項（抜粋）：

上端にウェーハを載置するためのウェーハ支持部を備えためっき槽と、めっき槽底部中央に設けられた液供給部と、めっき槽内部に設けられたアノードと、及び前記めっき槽に設けられたアノードとウェーハとを隔離する隔膜とを備えたカップ式めっき装置において、前記隔膜には、液供給部から外周に向かう方向に上昇する傾斜が与えられると共に、前記めっき槽には、隔膜上端部のアノード側に集められたバブルを抜けるような位置にガス放出口が設けられていることを特徴とするカップ式めっき装置。

IPC (3件)：

C25D 5/08 ,  C25D 7/12 ,  H01L 21/288

FI (3件)：

C25D 5/08 ,  C25D 7/12 ,  H01L 21/288 E