特許
J-GLOBAL ID:200903040294463329

共焦点光走査プローブ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 進
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-169591
公開番号(公開出願番号):特開2001-350098
出願日: 2000年06月06日
公開日(公表日): 2001年12月21日
要約:
【要約】【課題】 光ファイバおよびフアイバカプラの保護できるようにした共焦点光走査プローブ装置を提供する。【解決手段】 この共焦点光走査プロープ装置は、スキャナを有するプローブ1と、スキャナを駆動する制御装置2と、光学ユニット3と、画像化装置4と、モニタ5とからなる。また、被検部からの反射光の少なくとも一部を光学ユニット3の光源からの光の光路から分離する4端子カプラ8を、画像化装置4の内部に配置している。これにより、光ファイバーや4端子カプラ8を確実に保護することができる。
請求項(抜粋):
スキャナを有するプローブと、前記スキャナを駆動する制御装置と、被検部に光を照射する光源と、前記光源からの光をプローブ先端に導くための光ファイバと、前記光ファイバからの光を被検部に合焦させ、当該被検部からの光を前記光ファイバ端面に集光させる合焦手段と、前記被検部からの戻り光の少なくとも一部を光源からの光の光路から分離する分離手段と、前記分離された光を検出する検出器と、前記検出器からの信号を画像化する画像化装置と、画像を表示するモニタとを有する共焦点光走査プローブ装置において、前記分離手段は前記制御装置内に配置されたことを特徴とする共焦点光走査プローブ装置。
IPC (6件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/36 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 105
FI (6件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/36 ,  G02B 26/10 C ,  G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/10 105 Z
Fターム (10件):
2H045AB73 ,  2H045AF02 ,  2H045BA13 ,  2H045DA02 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AC27 ,  2H052AF21

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