特許

J-GLOBAL ID：200903040297602397

感放射線性ポリエステル樹脂及びそれを用いるネガ型レジスト組成物

発明者： 小柳 敬夫 ,  森 哲
出願人/特許権者： 日本化薬株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-334590
公開番号（公開出願番号）：特開2000-159857
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】高解像度、高細線密着性の厚膜ファインパターンが得られる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】2つの芳香族グリシジルエーテルが直接もしくは結合鎖を介して結合しているエポキシ化合物(a)と一分子中に少なくとも1個以上の不飽和二重結合を有するモノカルボン酸(b)との反応物(I)と下記一般式(1)【化1】(式中Yはグリコール残基である。)で示されるカルボン酸無水物(c)との反応物である感放射線性ポリエステル樹脂(A)。

請求項（抜粋）：

2つの芳香族グリシジルエーテルが直接もしくは結合鎖を介して結合しているエポキシ化合物(a)と分子中に不飽和二重結合を有するモノカルボン酸(b)との反応物(I)と下記式(1)【化1】(式中Xはグリコール残基である。)で示されるカルボン酸無水物(c)との反応物である感放射線性ポリエステル樹脂(A)。

IPC (5件)：

C08G 59/14 ,  C08F299/02 ,  C08G 63/58 ,  G03F 7/027 515 ,  H05K 3/28

FI (5件)：

C08G 59/14 ,  C08F299/02 ,  C08G 63/58 ,  G03F 7/027 515 ,  H05K 3/28 D

Fターム (96件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC03 ,  2H025BC13 ,  2H025BC33 ,  2H025BC43 ,  2H025BC64 ,  2H025BC74 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA35 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J027AE01 ,  4J027AE03 ,  4J027BA23 ,  4J027BA26 ,  4J027CA24 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CC07 ,  4J027CC08 ,  4J027CD10 ,  4J029AA07 ,  4J029AB07 ,  4J029AC02 ,  4J029AE18 ,  4J029BA03 ,  4J029BA08 ,  4J029BF09 ,  4J029BF10 ,  4J029CB04A ,  4J029CD03 ,  4J029FC36 ,  4J029GA12 ,  4J029GA13 ,  4J029GA22 ,  4J029GA23 ,  4J029GA42 ,  4J029GA43 ,  4J029GA51 ,  4J029HA01 ,  4J029HB01 ,  4J029HB06 ,  4J029JB171 ,  4J029JC031 ,  4J029JC051 ,  4J029JC091 ,  4J029JC591 ,  4J029JE152 ,  4J029JF471 ,  4J029KB03 ,  4J036AD04 ,  4J036AD05 ,  4J036AD07 ,  4J036AD08 ,  4J036AD20 ,  4J036CA11 ,  4J036CA21 ,  4J036DA05 ,  4J036DB15 ,  4J036DC02 ,  4J036DC05 ,  4J036DC19 ,  4J036DC27 ,  4J036DC41 ,  4J036DC45 ,  4J036DD01 ,  4J036DD07 ,  4J036FA10 ,  4J036FA11 ,  4J036FA12 ,  4J036GA29 ,  4J036HA01 ,  4J036JA09 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314AA34 ,  5E314AA41 ,  5E314CC01 ,  5E314FF06 ,  5E314GG08 ,  5E314GG11 ,  5E314GG14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 難燃性アルカリ現像型感光性樹脂組成物及びこれを用いたビルドアップ多層配線板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-350695   出願人：新日鐵化学株式会社, 東都化成株式会社
• カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-223790   出願人：新日鐵化学株式会社