パターン接続精度検査方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-145171
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050572
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】多数の領域ごとに露光又は描画されたパターンの領域境界部における接続精度を高い精度で高速に検査することができるパターン接続精度検査方法を実現する。【解決手段】各検査領域での荷電粒子ビームの走査により検出された2次電子信号は、検査画像としてその位置座標と共に画像メモリー44に保存される。すべての検査箇所の画像の取り込みが終了した後、別途用意した基準画像と検査画像とが、画像処理ユニット45で画像比較され、検査領域における基準画像に対応したパターンが抽出され、これらパターンの相対位置からフィールド接続部等のずれが検出される。

請求項（抜粋）：

被露光材料の所定の露光領域で露光し、所定の露光領域の露光後、他の露光領域で露光するように、順次各領域を露光して形成した露光パターンに対し、各露光領域間の接続精度を検査する方法において、異なる露光領域に存在する特定のパターンが少なくとも2つ含まれるような検査領域から発生した信号を検出し、検出信号から前記特定のパターンの位置を検出し、前記検査領域に対応する基準領域についてのデータから求めた該基準領域内の特定パターンの位置と、前記検査領域の特定パターンの位置とを比較することにより、前記検査領域の内の露光領域間の接続精度を検査するようにしたパターン接続精度検査方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G01B 11/00 , G01B 11/24 , G01B 15/00

FI (7件)：

G01B 11/00 C , G01B 11/00 H , G01B 15/00 B , H01L 21/30 541 D , H01L 21/30 541 U , G01B 11/24 F , G01B 11/24 K

Fターム (47件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065AA12 , 2F065AA14 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065BB03 , 2F065BB27 , 2F065CC19 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF26 , 2F065FF61 , 2F065GG01 , 2F065GG04 , 2F065MM16 , 2F065PP22 , 2F065PP24 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ39 , 2F065SS02 , 2F067AA03 , 2F067AA13 , 2F067BB02 , 2F067BB04 , 2F067BB21 , 2F067CC17 , 2F067EE04 , 2F067EE10 , 2F067GG06 , 2F067GG08 , 2F067HH06 , 2F067HH13 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067LL16 , 2F067RR24 , 2F067RR30 , 2F067RR35 , 5F056AA04 , 5F056BA08 , 5F056BB01 , 5F056CA30 , 5F056CC09

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