ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330219
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177098
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【構成】紫外線硬化型粘着剤を、EVAとPPの2層からなる厚さ110μmのフィルムのコロナ処理したEVA面にロールコーターにて塗布し、90°Cで乾燥して塗布厚み30μmの紫外線硬化型粘着剤を有するウエハ裏面研削用テープを得る。【効果】本ウエハ裏面研削用テープによれば、大口径ウエハを薄く研削した場合でも、ウエハの破損を防ぎ、かつ、ウエハ表面を汚染しない。

請求項（抜粋）：

光透過性の一層または二層以上のフィルムからなり、少なくともその内の一層がショアーD型硬度が40以下であるエチレン-酢酸ビニル共重合体および/またはブタジエンゴムである基材フィルムに光硬化型粘着剤を塗布してなることを特徴とするウエハ裏面研削用テープ。

IPC (4件)：

H01L 21/304 331 , H01L 21/304 321 , B24B 1/00 , C09J 7/02 JLE

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平3-037286
特開平2-047833
特開平2-129919

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