研磨用キャリア

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-053836
公開番号（公開出願番号）：特開平10-230453
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】外径が大きくかつ肉厚の薄いウエハ等の被研磨体をポリシング加工またはラッピング加工しても、被研磨体または被研磨体を保持する内キャリアが保持孔から逸脱して、被研磨体が破損することのない研磨用キャリアを提供する。【解決手段】円盤状の被研磨体を保持する円形の保持孔を有する研磨用キャリアにおいて、保持孔の内周面の全周にわたって、曲線状の波形凹凸部を等間隔に連続して設け、波形凸部の各頂点に接する内接円の直径を被研磨体の直径より大きくする。

請求項（抜粋）：

円盤状の被研磨体を保持する円形の保持孔を有する研磨用キャリアにおいて、保持孔の内周面の全周にわたって、曲線状の波形凹凸部を等間隔に連続して設け、波形凸部の各頂点に接する内接円の直径を被研磨体の直径より大きくしたことを特徴とする研磨用キャリア。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 C , H01L 21/304 321 H

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