特許

J-GLOBAL ID：200903040303536415

ネガ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 梶田 徹 ,  小林 英一 ,  大田 利幸 ,  三浦 孝夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-287804
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138660
出願日： 1992年10月26日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【構成】 放射線の照射により酸を発生する化合物、酸存在下で架橋反応する架橋剤、アルカリ可溶性樹脂、および例えば下記式(1)【化1】で示されるようなフェノール性化合物を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。【効果】 感度、現像性、解像度等に優れ、現像時のパターンの膨潤、パターンの蛇行がないネガ型レジストとして、特に紫外線、遠紫外線、X線、電子線、分子線、γ線、シンクロトロン放射線、プロトンビーム等の放射線に感応する集積回路作成用ネガ型レジストとして好適に使用することができる。

請求項（抜粋）：

(1)放射線の照射により酸を発生する化合物、(2)酸存在下で架橋反応する架橋剤、(3)アルカリ可溶性樹脂、および(4)下記構造式(1)【化1】で示されるフェノール性化合物を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027