導波管およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321646
公開番号（公開出願番号）：特開2002-135016
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】高熱伝導性および高耐熱性を保持するとともに、高い電気伝導効率を有する導波管およびその製造方法を得る。【解決手段】導波管の構成部品をCFCにより形成し(工程1)、この構成部品となるCFC基材の表面にCuと共晶が可能な金属とからなる中間金属層を形成した後(工程2)、CFC基材と中間金属層とを反応させる(工程3)中間金属層形成工程Aを施し、この工程Aによって形成された中間金属層上にさらにCu層を形成した後(工程4)、中間金属層と前記Cu層とを相互に拡散させる(工程5)Cu層形成工程Bを施し、このCu層形成工程Bを経た部品を用いて導波管を製造することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

導波管の構成部品をCFCにより形成し、この構成部品となるCFC基材の表面にCuと共晶が可能な金属とからなる中間金属層を形成した後、前記CFC基材と中間金属層とを反応させる中間金属層形成工程を施し、この工程によって形成された中間金属層上にさらにCu層を形成した後、前記中間金属層と前記Cu層とを相互に拡散させるCu層形成工程を施し、このCu層形成工程を経た部品を用いて導波管を製造することを特徴とする導波管の製造方法。

IPC (5件)：

H01P 11/00 , C23C 4/08 , C23C 4/18 , F16L 9/00 , H01P 3/12

FI (5件)：

H01P 11/00 D , C23C 4/08 , C23C 4/18 , H01P 3/12 , F16L 9/00 Z

Fターム (13件)：

3H111AA01 , 3H111BA04 , 3H111BA37 , 3H111CA22 , 3H111DA11 , 3H111DA26 , 3H111DB27 , 3H111EA14 , 4K031AA08 , 4K031CB07 , 4K031CB35 , 4K031FA01 , 5J014DA05

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