特許

J-GLOBAL ID：200903040319409502

分割スパッタリングターゲット

発明者： 寶地戸 雄幸 ,  千葉 勉
出願人/特許権者： 株式会社高純度化学研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-192375
公開番号（公開出願番号）：特開平9-003637
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】 ターゲットの継ぎ目の隙間にボンデング材が侵入しない分割スパッタリングターゲットを提供することを目的とする。【構成】 分割した金属スパッタリングターゲットの各ターゲット間の継ぎ目において、該ターゲットの裏面の継ぎ目部に切欠き部あるいは面取り仕上げ部を設け、相対したターゲットの切欠き部あるいは面取り仕上げ部で形成された凹部を溶接により接合したものである。本発明は、一体構造型分割スパッタリングターゲットにも適用できる。

請求項（抜粋）：

分割した金属スパッタリングターゲットの各ターゲット間の継ぎ目において、該ターゲットの裏面の継ぎ目部に切欠き部あるいは面取り仕上げ部を設け、相対したターゲットの切欠き部あるいは面取り仕上げ部で形成された凹部を溶接により接合したことを特徴とする分割スパッタリングターゲット。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-254164
  
• 特開昭59-020470
  
• 特開平4-333565