赤外線検出器およびその製造方法、並びに赤外線固体撮像装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-101491
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294523
出願日： 2002年04月03日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】検出感度の高い赤外線検出器を含む、非冷却の赤外線固体撮像装置を提供する。【解決手段】検出部の温度変化を検知膜で検出する赤外線検出器において、基板と、基板上に支持脚で支持され、検知膜が設けられた検出部と、互いに略平行に配置された第1赤外線吸収膜および第2赤外線吸収膜と、第1赤外線吸収膜および第2赤外線吸収膜を透過した赤外線を反射して、第1赤外線吸収膜および第2赤外線吸収膜に入射させる反射膜とを含み、第1赤外線吸収膜と反射膜との間の第1光学距離と、第2赤外線吸収膜と反射膜との間の第2光学距離が互いに異なる。

請求項（抜粋）：

検出部の温度変化を検知膜で検出する赤外線検出器であって、基板と、該基板上に支持脚で支持され、検知膜が設けられた検出部と、互いに略平行に配置された第1赤外線吸収膜および第2赤外線吸収膜と、該第1赤外線吸収膜および該第2赤外線吸収膜を透過した赤外線を反射して、該第1赤外線吸収膜および該第2赤外線吸収膜に入射させる反射膜とを含み、該第1赤外線吸収膜と該反射膜との間の第1光学距離と、該第2赤外線吸収膜と該反射膜との間の第2光学距離とが、互いに異なることを特徴とする赤外線検出器。

IPC (6件)：

G01J 1/02 , H01L 27/14 , H01L 35/00 , H01L 35/34 , G01J 5/02 , G01J 5/48

FI (7件)：

G01J 1/02 C , G01J 1/02 Q , H01L 35/00 S , H01L 35/34 , G01J 5/02 C , G01J 5/48 F , H01L 27/14 K

Fターム (26件)：

2G065AA11 , 2G065AB02 , 2G065BA12 , 2G065BA34 , 2G065BB24 , 2G065BB50 , 2G065BC02 , 2G065BC07 , 2G065BE08 , 2G065DA20 , 2G066BA09 , 2G066BA55 , 2G066BA60 , 2G066CA02 , 4M118AA01 , 4M118AB01 , 4M118BA30 , 4M118CA03 , 4M118CA14 , 4M118CA20 , 4M118CA40 , 4M118CB13 , 4M118CB14 , 4M118EA04 , 4M118EA20 , 4M118GA10

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