特許
J-GLOBAL ID：200903040335191274
スピンコータライン配管の洗浄液及び洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-115713
公開番号（公開出願番号）：特開平6-320128
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：
【要約】【目的】 スピンコータライン配管用の洗浄効率の優れた洗浄液及び実用上有利な洗浄方法を提供する。【構成】 N-メチルピロリドンを含むことを特徴とするスピンコータライン配管用の洗浄液及び当該洗浄液を用いて洗浄操作を行うことを特徴とするスピンコータライン配管の洗浄方法。
請求項（抜粋）：
N-メチルピロリドンを含むことを特徴とするスピンコータライン配管の洗浄液。
IPC (5件)：
B08B 9/06
, B05C 11/08
, C11D 7/32
, H01L 21/027
, G03F 7/16
