特許
J-GLOBAL ID：200903040345296546
エッチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-086225
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264503
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ毎のエッチング管理を適正に行うことができるとともに、複雑な手作業を解消でき、工程の自動化を実現する。【構成】 ウエハ1の非エッチング面1aを密接させる受け面2aを形成したウエハベース2と、ウエハ1のエッチング面1bの外周全周に下側開口31端面が密接してウエハ1を底壁とする貯液空間Sを形成する枠状キャリヤ3と、キャリヤ3の上側開口32を液密的に閉鎖し、貯液空間Sへ処理液Lを供給する給液ノズル41および貯液空間Sから処理液Lを排出する排液口42を形成したキャップ4と、ウエハベース2とキャップ4を装着した状態でキャリヤ3を上下より挟んで反転可能に保持するクランプ・反転ユニット5とが設けられる。
請求項（抜粋）：
ウエハの非エッチング面を密接させる受け面を形成したベース体と、上記ウエハのエッチング面の外周全周に下側開口端面が密接してウエハを底壁とする貯液空間を形成する枠体と、枠体の上側開口を液密的に閉鎖し、貯液空間へ処理液を供給する開口および貯液空間から処理液を排出する開口を形成した蓋体と、上記ベース体と蓋体を装着した状態で上記枠体を上下より挟んで反転可能に保持する保持手段とを具備するエッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306
, C23F 1/08 101
H01L 21/306 J
, C23F 1/08 101
