ワーク搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-009407
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222563
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】ワークの静電気を迅速確実に除去して搬送時間を短縮できるワーク搬送装置を提供する。【構成】ワークPが往復する搬送経路上にワークPの帯電状態を設定する帯電状態測定器11と、ワークPにイオン風を吹き付けて静電気を除去する静電気除去器12とを設ける。帯電状態測定器11で測定したワークPの帯電極性および帯電量に応じて静電気除去器12で生成するイオン風の正負のバランスを変化させ、ワークPの静電気を効率良く除去する。

請求項（抜粋）：

ワークの搬入時および搬出時に当該ワークが通過する搬送経路上に、前記ワークの静電気を除去する静電気除去手段を設けたワーク搬送装置において、前記ワークが搬入時および搬出時のいずれにあるかを判断する搬送方向判断手段と、前記静電気除去手段の静電気除去性能の設定状態を、前記搬送方向判断手段の判断結果に基づいて変化させる除去性能変更手段と、を設けたことを特徴とするワーク搬送装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 , G03B 27/32 , G03B 27/52 , G03F 1/08

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-115454
特開平1-289243

審査官引用 (4件)

特開平4-115454
特開平4-266444
特開平1-289243

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