半導体レーザの特性測定方法及び半導体レーザの特性測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-255265
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085783
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は、半導体レーザの光出力強度を変えた時の出射光軸の向き(光軸ズレ角)の変化量を測定することが可能な半導体レーザの特性測定方法及び半導体レーザの特性測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】半導体レーザ1の出射光軸の基準光軸からのズレ量である光軸ズレ角を半導体レーザの近視野像である発光点像位置と遠視野像のピーク位置とのCCD3a上でのズレから測定し、異なる光出力強度に対する遠視野像の移動量に基づいて、半導体レーザ1の光軸ズレ角の変化量を測定する。

請求項（抜粋）：