特許

J-GLOBAL ID：200903040361684971

2段階の化学増幅を利用するパタン形成材料

発明者： 伴 弘司 ,  中村 二朗 ,  田中 啓順
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 中本 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-129321
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297576
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 高感度化と高解像化を同時に可能とする新規な化学増幅システムに必須となる酸発生剤とそれを用いた化学増幅レジストを提供する。【構成】 酸触媒反応によって分解が促進され、その分解反応の結果強酸を生成する酸分解性エステル化合物を含む、2段階の化学増幅を利用したパタン形成材料。該エステルの例には、スルホン酸エステル、トリハロ酢酸エステル、α-ジハロ酢酸エステルがあり、他の構成分の例としては、架橋性又は酸分解性を有し、若しくは有しないマトリックス樹脂と、酸発生剤があり、その他必要に応じて、酸分解性溶解阻害剤、架橋剤を用いる。【効果】 従来の化学増幅を利用したパタン形成材料よりも高感度で高解像を与える。

請求項（抜粋）：

酸触媒反応によって分解が促進され、その分解反応の結果強酸を生成する酸分解性エステル化合物を含むことを特徴とする化学増幅を利用したパタン形成材料。

IPC (6件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 515 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-291259