特許
J-GLOBAL ID：200903040368884194
漏洩試験方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298605
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151634
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 強度が低い容器等の漏洩試験に適用できると共に、検出感度が高く微少な漏れを検出できる漏洩試験方法を提供する。【構成】 先ず、被試験体11をフード12内に装入する。そして、被試験体11内の空気をポンプ14で排気し、被試験体11内にパイプ15を介してN2又はCO2ガス等のHeを含有しない(又は、He含有量が極めて少ない)置換ガスを供給して、被試験体11内の空気をこの置換ガスに置換する。次に、被試験体11内に置換ガスを供給すると共にポンプ14により被試験体11内のガスを排気しつつ、フード12内にHeガスを充填する。被試験体11に漏洩箇所がある場合は、被試験体11内に漏洩したHeガスが置換ガスと共にパイプ16内に入り、トレーサガス検出器13に検出される。
請求項（抜粋）：
被試験体内の空気を置換ガスに置換する工程と、前記被試験体の外側にHeガスを供給し前記被試験体内に漏洩したHeガスを検出する工程と、を有することを特徴とする漏洩試験方法。
引用特許：
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