非点収差補正方法及び非点収差補正装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048962
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247466
出願日： 1997年03月04日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】 SEMに用いる荷電粒子光学鏡筒において、高精度かつ容易に非点収差補正を可能にする。【解決手段】非点収差を補正するためのスティグマタを備えた荷電粒子光学鏡筒における非点収差補正方法において、試料上に電子ビームを2次元走査して得られる2次粒子信号を抽出し、抽出して得られた2次粒子信号画像に対し対物レンズの焦点を合わせる第1のステップS1と、合焦点位置で得られた2次粒子信号画像に対し、電子ビームの非点収差が小さくなるようスティグマタを調整することにより非点収差を補正する第2のステップS2とを有する。

請求項（抜粋）：

非点収差を補正するためのスティグマタを備えた荷電粒子光学鏡筒を用い、試料上に荷電粒子ビームを2次元的に走査して得られる2次粒子信号を抽出することにより作成される2次粒子信号画像に対し、前記荷電粒子光学鏡筒のレンズ系の焦点を合わせる第1のステップと、合焦点位置で得られた2次粒子信号画像にに対し、2次粒子信号画像情報に基づいて荷電ビームの非点収差が小さくなるよう前記スティグマタを調整することにより非点収差を補正する第2のステップとを有することを特徴とする荷電粒子光学鏡筒における非点収差補正方法。

IPC (2件)：

H01J 37/153 , H01J 37/21

FI (2件)：

H01J 37/153 B , H01J 37/21 B

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平3-194839
電子ビーム装置における自動焦点合わせと非点収差補正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-031980 出願人：日本電子株式会社
合焦位置算出装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-312002 出願人：株式会社東芝

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