特許
J-GLOBAL ID：200903040374951537
高出力レーザー光用及びシンクロトロン放射光用ミラー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 雅生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112415
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300906
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明は炭化珪素焼結体を用いて、鏡面を得ることができ、表面粗度に優れた、冷却機構を有する反射ミラーを提供するものである。【構成】 反射面の裏面に冷却機構を付加することにより、ミラー内部へ蓄積された熱を抜熱し、熱ひずみやミラーの温度上昇を防止し、光源の高出力化・短波長化やミラーの大型化に対応できる高耐熱性・高剛性の炭化珪素焼結体製反射ミラーを実現できる。【効果】 本発明の冷却機構付炭化珪素焼結体製反射ミラーは、高耐熱性かつ高剛性であり、表面粗度にも優れることから、高出力レーザー光用、シンクロトロン放射光用の反射ミラーとして、適用することができる。
請求項（抜粋）：
相対密度が99.5%以上の炭化珪素焼結体よりなり、反射面の表面粗度がRa2nm以下である炭化珪素焼結体製反射ミラー用基板の反射面に反射膜のないまま、または、金属膜または多層膜などの反射膜をコーティングしてなる反射ミラーに対し、反射面の裏面側に、冷却機構を付加したことを特徴とする高出力レーザー光用及びシンクロトロン放射光用ミラー。
IPC (3件)：
G02B 5/08
, H01S 3/08
, H05H 13/04
