特許

J-GLOBAL ID：200903040378331533

レジスト材料

発明者： 菅沼 輪香子 ,  岡本 和也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287562
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109151
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 高加速電圧電子線の特性である電子の直進性を生かし、高いパターン線幅制御性を維持したまま、高スループットを得ることができるレジスト材料を提供する。【解決手段】 レジスト感度は、電子線の加速電圧が50kV程度になるまでは低下するが、50kVより高くなると再び上昇し始め、急激に高くなる。よって、100kV程度の電子線を使用すれば、微細パターンを加工でき、かつスループットもあげることができる。

請求項（抜粋）：

電子線を利用したリソグラフィープロセスに使用されるレジスト材料であって、電子線に対する感度が、所定以上の加速電圧を有する電子線に対し、電子線の加速電圧の増加に応じて増加することを特徴とするレジスト材料。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/26 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/26 501 ,  H01L 21/30 541 P

Fターム (22件)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC00 ,  2H025BF00 ,  2H025BJ00 ,  2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA11 ,  2H096EA06 ,  2H096LA16 ,  2H096LA17 ,  2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5F056DA01 ,  5F056DA27