特許
J-GLOBAL ID:200903040380008987

光走査型変位センサーの受光素子調整機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 長七 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-155795
公開番号(公開出願番号):特開平7-012555
出願日: 1993年06月25日
公開日(公表日): 1995年01月17日
要約:
【要約】【目的】 位置検出素子の傾きの調整を精度良く簡単にできること。【構成】 偏心鋲23を回転させることで、PSDホルダー16が回転ホルダー17の凹部18内で左右にスライドし、これにより位置検出素子6のZ方向の位置調整を行うことができる。また、走査と平行になるように位置検出素子6の角度(傾き)調整は、偏心鋲24を回転させることにより、回転ホルダー17を回転させ、これにより位置検出素子6の角度調整を行う。調整は標準検出物体(平板)で行い、出力(1走査)を見ながら(例えば、オシロスコープ)、1走査間に変化しないように行い、走査と位置検出素子6が平行になるように調整を行う。
請求項(抜粋):
投光ビームを偏向手段により走査させ、ある角度をもって受光レンズと一次元の位置検出素子により光点を検出する光走査型変位センサーにおいて、位置検出素子を保持するホルダーを円筒形に形成し、このホルダーを円形の収納部に回転自在に配設したことを特徴とする光走査型変位センサーの受光素子調整機構。
IPC (2件):
G01C 3/06 ,  G01B 11/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平1-297504
  • 特開平2-059607
  • 特開平1-297504
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