特許

J-GLOBAL ID：200903040380626125

ファブリ・ペロー共振器用中空構造体

発明者： ロドニー・エス・タッカー ,  ウエイン・ヴイ・ソリン ,  ダグラス・エム・ベイニー
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 加藤 公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-115758
公開番号（公開出願番号）：特開2002-006238
出願日： 2001年04月13日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】 周波数ノイズの発生を防止すること等のできる、ファブリ・ペロー共振器用中空構造体を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明に係るファブリ・ペロー共振器用中空構造体は、第1導電性面を持つ基板203に取り付けられた固定ミラー214と、可動ミラー213を備え、第2導電性面を持つ基板203上に懸架されたメンブレン216と、第1導電性面と第2導電性面との間に電気的ポテンシャルを与える駆動回路と、固定ミラー214と可動ミラー213との間の距離を測定し、この測定に対応して、ポテンシャルを調節する測定回路とを備える。

請求項（抜粋）：

所定波長範囲から選択できる共振波長を備えた、同調可能なファブリ・ペロー共振器用光学的中空構造体において、第1導電性面を持つ基板に取り付けられた固定ミラーと、可動ミラーを備え、第2導電性面を持つ前記基板上に懸架された支持部材と、前記第1導電性面と前記第2導電性面との間に電気的ポテンシャルを与える駆動回路と、前記固定ミラーと前記可動ミラーとの間の距離を測定し、この測定に対応して、前記ポテンシャルを調節する測定回路と、を備えることを特徴とするファブリ・ペロー共振器用光学的中空構造体。

IPC (8件)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/26 ,  G02B 5/28 ,  G02B 7/182 ,  H01S 5/04 ,  H01S 5/0687 ,  H01S 5/14 ,  H01S 5/343

FI (8件)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/26 ,  G02B 5/28 ,  H01S 5/04 ,  H01S 5/0687 ,  H01S 5/14 ,  H01S 5/343 ,  G02B 7/18 Z

Fターム (28件)：

2G020CA12 ,  2G020CB06 ,  2G020CB23 ,  2G020CC23 ,  2G020CC26 ,  2G020CC56 ,  2G020CD22 ,  2G020CD32 ,  2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08 ,  2H043CA08 ,  2H043CD04 ,  2H043CE00 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA51 ,  2H048GA60 ,  2H048GA61 ,  5F073AA74 ,  5F073AB17 ,  5F073AB25 ,  5F073AB29 ,  5F073EA03 ,  5F073GA36