特許
J-GLOBAL ID：200903040394434148
球体外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107242
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300534
出願日： 1993年04月12日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 真珠のように球の形状が厳密には不定の被検査試料の三次元形状と欠陥を1枚の画像で認識できる球体外観検査装置を得る。【構成】 被検査試料を取り囲んで多段に積層したリング光源群と、上記リング光源の中心軸と同軸に配置された、上記被検査試料上に映る上記リング光源の像を撮影するカメラと、上記カメラにより撮影されたリング光源の像の形状変化より上記被検査試料の三次元形状を検出するとともに、上記リング光源の像の急激な形状変化より上記被検査試料の欠陥を検出する検出回路とを設ける。
請求項（抜粋）：
被検査試料を取り囲んで多段に積層したリング光源群と、上記リング光源の中心軸と同軸に配置され、上記被検査試料上に映る上記リング光源の像を撮影するカメラと、上記カメラにより撮影されたリング光源の像の形状変化より上記被検査試料の三次元形状を検出するとともに、上記リング光源の像の急激な形状変化より上記被検査試料の欠陥を検出する検出回路とを備えた球体外観検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01N 21/88
