特許
J-GLOBAL ID:200903040395342654
硬質脆性基板の連続ブレーク装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西 孝雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-343032
公開番号(公開出願番号):特開2001-157997
出願日: 1999年12月02日
公開日(公表日): 2001年06月12日
要約:
【要約】【課題】 硬質脆性基板を所定寸法に分割する装置に関し、基板を連続的に搬送しながらスクライブ線の位置で順次ブレークできる装置を提供する。【解決手段】 硬質脆性基板を支持する平らな搬送面の搬送方向下流端に設けられて搬送方向に周回する受けローラと、中心軸を受けローラの中心軸よりわずかに搬送方向にずらせて配置した押えローラと、両ローラの下流側で搬送される硬質脆性基板の上面又は下面に下面部又は上面部が当接するように配置した弾圧ローラないしベルトとを備えている。硬質脆性基板は、受けローラと押えローラとで挟持されて弾圧ローラないし弾圧ベルト側に押し出され、スクライブ線が受けローラ又は押えローラを通過するとき、当該スクライブ線に沿ってブレークされる。
請求項(抜粋):
硬質脆性基板(1)を移動可能に支持する平らな搬送面(2)と、この搬送面の搬送方向下流端に上端を搬送面と同一高さにして搬送方向に周回する受けローラ(5)と、中心軸を受けローラの中心軸よりわずかに搬送方向上流側にして受けローラの上方に平行に配置した押えローラ(14)と、受けローラと押えローラとの間隔より大きな間隔を隔てた下流側の位置で搬送される硬質脆性基板の上面に下面部が当接するように配置した弾圧ローラないしベルト(15)と、受けローラまたは押えローラを搬送方向に連続回転駆動する駆動装置(6)とを備えている、硬質脆性基板の連続ブレーク装置。
IPC (6件):
B26F 3/00
, C03B 33/03
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/301
, H05K 3/00
FI (6件):
B26F 3/00 A
, C03B 33/03
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H05K 3/00 X
, H01L 21/78 T
Fターム (15件):
2H088EA67
, 2H088FA05
, 2H088FA17
, 2H088FA18
, 2H088HA01
, 2H088MA20
, 2H090JB02
, 3C060AA08
, 3C060AA10
, 3C060CB02
, 4G015FA04
, 4G015FB01
, 4G015FC02
, 4G015FC04
, 4G015FC11
引用特許:
前のページに戻る