特許
J-GLOBAL ID：200903040396004825

真空用ベヤリング

発明者：
松本 泰輔

松本 泰輔 について


出願人/特許権者：
日本真空技術株式会社

日本真空技術株式会社 について


代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289329
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115321
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】 高真空、高温度下で使用してもダストを発生し難く、また回転トルクが上昇せず、長期間安定して使用し得る真空用ベヤリングを提供すること。【解決手段】 内輪21と外輪22A、22Bとの間に軸心が交互に直交する向きで円環状に挟持されるローラ23の2個毎に潤滑ローラ24を挿入して構成される真空クロスベヤリング20において、挿入する潤滑ローラ24には、マトリックスとしての金属タングステン粉末50容積%と固体潤滑剤としての二硫化タングステン粉末50容積%とを混合し真空焼結して作成される焼結体に対し、パーフロロアルキルポリエーテルからなり常温における蒸気圧が10-8Pa以下であるフッ素系の高真空用潤滑油を真空含浸させたものを使用する。
請求項（抜粋）：
内輪と外輪との間、またはレールと回転テーブルとの間に複数個のボールまたは複数個のローラが円環状に配置された真空用ベヤリングにおいて、少なくとも前記内輪と前記外輪、または前記レールと前記回転テーブルとに接するようにして、前記ボールまたは前記ローラの所定個数毎に潤滑ローラが配置されており、該潤滑ローラが金属または焼結可能な無機物をマトリックスとして固体潤滑剤を分散させた焼結体に対し高真空用潤滑油を含浸させたものであることを特徴とする真空用ベヤリング。
IPC (2件)：
F16C 33/37 ,  F16C 33/66
FI (2件)：
F16C 33/37 ,  F16C 33/66 A
引用特許：
審査官引用 (2件)

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