特許

J-GLOBAL ID：200903040396934709

圧力センサ

発明者： 三浦 清
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-325995
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153511
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】 センサチップへの定格圧力以上の圧力印加を防止した、より信頼性が高い高精度な圧力センサを提供することにある。【解決手段】 ケース内に、上ケース11の一部が圧力調整弁16を兼ね、かつ圧力調整弁を設けてセンサチップ13への定格圧力以上の圧力印加を防止するセンサ圧力センサを得る。

請求項（抜粋）：

ケース内に、センサチップを収納してなる圧力センサにおいて、ケース内に圧力調整弁を設けていることを特徴とする圧力センサ。