特許

J-GLOBAL ID：200903040399936028

インクジェットヘッドのノズルプレート製造方法

発明者： 亀井 稔人 ,  堀家 正紀
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-160154
公開番号（公開出願番号）：特開平6-344562
出願日： 1993年06月04日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【目的】 ノズルプレートの材料として、PEN、或いは、PESを使用し、ノズル加工後、インク吐出側のノズルを含めたノズル近傍に、隣り領域と接しないように、発振周波数が193nm以上のエキシマレーザ光を照射して粗面加工を行う。【構成】 インクジェットヘッドのインク加圧室に連通する吐出面に接合され、該インク加圧室内において加圧されたインクを吐出する複数の整列したノズルを有するノズルプレートの製造方法である。前記ノズルプレート2は、発振周波数が193nm以上のエキシマレーザ光に対する透過率が10%以上である樹脂材料にて構成され、ノズルの加工後に、インク吐出側2aのノズル3を含めたノズル近傍の領域に隣り領域と接しないように、該エキシマレーザ光を照射して、樹脂表面を粗面化14し、表面に撥水性のある層15を形成する。

請求項（抜粋）：

インクジェットヘッドのインク加圧室に連通する吐出面に接合され、該インク加圧室内において加圧されたインクを吐出する複数の整列したノズルを有するノズルプレートの製造方法において、前記ノズルプレートは、発振周波数が193nm以上のエキシマレーザ光に対する透過率が10%以下である樹脂材料にて構成され、ノズルの加工後に、インク吐出側のノズルを含めたノズル近傍の領域に、隣り領域と接しないように、前記エキシマレーザ光を照射して樹脂表面を粗面化し、該表面に親水性のある層を形成することを特徴としたインクジェットヘッドのノズルプレート製造方法。