特許
J-GLOBAL ID：200903040402295390
質量センサ及び質量検出方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321117
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 細菌、ウイルス等の微生物や化学物質、蒸着膜厚等のナノグラムオーダーの微小質量の測定を、簡単に、かつ正確に行うことのできる質量センサ及び質量検出方法を提供する。【解決手段】 スリット5が形成された連結板3と、振動板2とが互いの側面において接合され、2枚の検出板4A・4Bが振動板2と連結板3との接合方向と直交する方向において連結板3を挟持するように連結板3と側面において接合され、少なくとも1枚の検出板4A・4Bの少なくとも一方の平板面上に圧電素子6A・6Bが配設されてなる共振部が、センサ基板7の側面の一部に接合してなる質量センサ1である。振動板2の質量変化に伴う共振部の共振周波数の変化を測定することにより、振動板2の質量変化を測定する。
請求項（抜粋）：
1箇所以上のスリット及び/又は孔部が形成され、及び/又は、薄肉部と厚肉部とが形成された連結板と、振動板とが互いの側面において接合され、少なくとも一方の表面上の少なくとも一部に圧電素子が配設された検出板が、当該振動板と当該連結板との接合方向と直交する方向において、当該連結板と互いの側面において接合され、当該連結板と当該検出板の少なくとも一部の側面が、センサ基板側面に接合されて、当該振動板と当該連結板と当該検出板及び当該圧電素子から共振部が形成されてなることを特徴とする質量センサ。
IPC (4件)：
G01G 3/13
, G01G 3/16
, G01N 5/02
, G01N 33/543 593
G01G 3/13
, G01G 3/16
, G01N 5/02 A
, G01N 33/543 593
