特許
J-GLOBAL ID：200903040402803808
インクジェットヘッド用ノズル基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-290789
公開番号（公開出願番号）：特開2002-096472
出願日： 2000年09月25日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：
【要約】【課題】 シリコン単結晶基板に替わる樹脂基板を用い、エキシマレーザ加工に替わるエッチング手段により、円筒状孔と弧状孔とが連通してなる二段形状のノズル孔を形成した、インクジェットヘッド用のノズル基板を提供する。【解決手段】 ポリイミドシートからなり、撥液性膜14および粘着材17が積層されたノズル基材11の一主面に、耐エッチング性の金属被膜13を蒸着した後、フォトリソによりノズルパターン13bを形成する。このノズルパターン13bをエッチングして碗状凹部15を形成する。碗状凹部15に金属被膜を蒸着し、ノズルパタ-ン13cを形成した後、ノズル孔16を形成する。ノズル孔16の形成に際してはノズル基材11に、前段で等方性ハーフエッチングを、後段では異方性フルエッチングをそれぞれ施すことにより、円筒状の貫通孔を形成する。最後に粘着シ-ル17を撥液性膜14から剥離除去する。
請求項（抜粋）：
インクを吐出するノズル孔と該ノズル孔のインク吐出面に撥液性膜とを有し、インクジェットヘッドを構成するノズル基板の製造方法において、ノズル基材の一方の表面を第1のマスク材で被覆し、該マスク材の前記ノズル孔に対応する部分を除去することにより第1のノズルパターンを形成する第1の工程と、前記ノズル基材表面の前記第1のノズルパターン部分をエッチングすることにより、前記ノズル基材のインク供給側に碗状凹部を形成する第2の工程と、前記碗状凹部の表面を第2のマスク材で被覆し、該マスク材のうち前記ノズル孔のインク吐出口に対応する部分を除去することにより第2のノズルパターンを形成する第3の工程と、前記ノズル基材の前記第2のノズルパターン部分にドライエッチングを施すことにより、前記ノズル基材の他方の表面に通じる円筒状の貫通孔を形成して、該貫通孔と前記碗状凹部とを連通させる第4の工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッド用ノズル基板の製造方法。
Fターム (11件)：
2C057AF93
, 2C057AG04
, 2C057AG07
, 2C057AG12
, 2C057AP13
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP54
, 2C057AP57
, 2C057AP60
, 2C057AQ03
