特許
J-GLOBAL ID：200903040402972235
走査型プローブ顕微鏡を用いた吸着力測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-197532
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043258
出願日： 1995年08月02日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】この発明は、変位検出出力が変化しても試料とカンチレバーの間に実際にかかる荷重値が変化しないようにするため、カンチレバーへの試料の押し込み量が一定となるように制御しながら吸着力測定を行うことを特徴とする。【解決手段】測定したフォースカーブのデータから基準ラインを求め(ステップS2)、フォースカーブ画面でセンサ最大値を設定し(ステップS3)、有効荷重値を求める(ステップS4)。その後、カンチレバーの移動、フォースカーブ空測定、基準ラインを保存して(ステップS5、S6、S7)吸着力測定の準備を終え、各測定点でフォースカーブ測定を行う(ステップS8)。最初のフォースカーブ測定の押し込み量は上記求めた基準ラインに有効荷重値を加えたもので、各フォースカーブ測定データから基準ラインを求め(ステップS9)、試料上の全測定点の測定を終了すると(ステップS11)、吸着力測定を終了する。
請求項（抜粋）：
探針を試料表面に近接させて走査することにより該試料表面の吸着力情報を測定する走査型プローブ顕微鏡を用いた吸着力測定方法に於いて、予め測定されたフォースカーブのデータから基準ライン値を求める第1のステップと、上記フォースカーブのデータから上記探針の上記試料表面への押し込み量を求めるべくセンサ最大値を設定する第2のステップと、上記センサ最大値から上記基準ライン値を減算した量を有効荷重値として保存する第3のステップと、上記第1のステップで求められた基準ラインに上記第3のステップで保存された上記有効荷重値を加算してフォースカーブ測定を行う第4のステップと、この第4のステップで測定されたデータから次の測定点でのフォースカーブ測定の押し込み量を求めるべく次の基準ライン値を求める第5のステップとを具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を用いた吸着力測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
