特許
J-GLOBAL ID：200903040410890051
電解研磨による探針作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-091753
公開番号（公開出願番号）：特開平5-261625
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】 尖鋭な探針を作成することのできる電解研磨による探針作成方法を提供すること。【構成】 タングステン線2および環状電極5を電解液1中に浸してから、昇降スタンド9によって環状電極5を液面12より環状電極5の線材の直径分よりわずかに上昇させ、環状電極5の内外で液面差を持たせた状態で、タングステン線2と環状電極5間に電源4より電圧を印加する。タングステン線2が溶断されると、下方のタングステン線は液中を落下し、この落下に伴ない環状電極5内の電解液が下方へ引かれ、環状電極5内の液面が下がり、環状電極5の外周の液面12と同じになる。これによりタングステン線2の切断部分は電解液面12より離れるので、過度にエッチングされることがなくなる。
請求項（抜粋）：
探針材料が環状電極の中心を通るように支持した状態で前記探針材料および環状電極を電解液面に接した後、該環状電極を電解液面から環状電極の厚さよりわずかに厚い分だけ離れた位置で固定し、環状電極部分で内外との液面差を持たせた状態で探針材料と環状電極間に電圧を印加するようにしたことを特徴とする電解研磨による探針作成方法。
IPC (5件)：
B23H 9/08
, C25F 3/16
, G01B 7/34
, H01J 9/14
, H01J 37/28
