特許
J-GLOBAL ID：200903040414034435
データ編集装置、データ編集方法、半導体製造装置および半導体製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-181843
公開番号（公開出願番号）：特開2002-373836
出願日： 2001年06月15日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：
【要約】【課題】 レシピや小レシピの共有関係を把握しつつ、レシピの編集をする。【解決手段】 マスターレシピが所定の複数データ項目により構成され、データ項目として、実体データおよび実体データを参照するためのポインタもしくは名称を保有し得る項目である小レシピを有し、小レシピのデータを複数のマスターレシピ間で共有し得る構造のデータを編集するためのデータ編集装置において、複数のマスターレシピの保有データを配列状に並べて表示し、この配列表示画面を表示している状態で保有データを入力命令により書き換える。
請求項（抜粋）：
マスターレシピが所定の複数データ項目により構成され、前記データ項目として、実体データおよび実体データを参照するためのポインタもしくは名称を保有し得る項目である小レシピを有し、前記小レシピのデータを複数のマスターレシピ間で共有し得る構造のデータを編集するためのデータ編集装置において、前記複数のマスターレシピの保有データを配列状に並べて表示し、この配列表示画面を表示している状態で前記保有データを入力命令に従って書き換える機能を有することを特徴とするデータ編集装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, H01L 21/30 502 G
