特許
J-GLOBAL ID：200903040416739185
剪断型圧電素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146278
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340854
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 外観から分極方向と分極の向きを容易に判別できるような剪断型圧電素子を効率よく製造できるようにする。【解決手段】 圧電板20の表面に、分極用の複数の線状導体パターン22a,...,22cを間隔をあけて平行に形成し、それらの間に直流電界を印加して分極処理を施した後、圧電板の少なくとも線状導体パターン間の分極領域の両面に電極24を形成し、その分極領域から矩形板状に素子を切り出す方法である。分極処理の際に対をなす分極用の線状導体パターンに凸部23aと凹部23bを対にして形成し、その凸部を残すように素子を切り出す。あるいは分極用の線状導体パターンに沿ってマスク跡(無電極部)を有するように電極を形成し、そのマスク跡を残すように素子を切り出してもよい。各素子に残存した凸部あるいはマスク跡の位置によって分極の向きを目視で判別できるようにする。
請求項（抜粋）：
圧電板の表面に分極用の複数の線状導体パターンを間隔をあけて平行に形成し、それらの間に直流電界を印加して分極処理を施した後、前記圧電板の少なくとも線状導体パターン間の分極領域の両面に電極を形成し、その分極領域から矩形板状に素子を切り出す剪断型圧電素子の製造方法において、分極処理の際に対をなす分極用の線状導体パターンは、それらの対向縁の一方に多数の凸部が、他方に多数の凹部が、互いに対向する位置関係で且つ切り出すべき素子毎に配列された形状に形成されており、電極形成後、分極領域から矩形板状に素子を切り出す際に前記凸部の少なくとも一部が素子側に残るように切断し、その残存した凸部の位置によって分極の向きを判別できるようにしたことを特徴とする剪断型圧電素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 J
