特許

J-GLOBAL ID：200903040422974340

露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 刑部 祐一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-040051
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243684
出願日： 1999年02月18日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 原板の熱変形を消去または軽減させる。【解決手段】 原板3のパターンを照明して直接または投影光学系を介して被露光物体上に露光する露光装置において、原板に気体または温度制御された気体を送風する送風手段2,4,5,7と、前記気体または温度制御された気体の送風量、送風位置、または送風方向のいずれか1つ以上を制御する制御手段とを設ける。または、原板を保持する部材の表面、原板を保持する機構を所持したユニットあるいは原板の周辺に設けられた配管部に流体または温度制御された流体を送流して原板を保持する部材、原板を保持する機構を所持したユニットあるいは原板の周辺を冷却する冷却手段を設ける。または、原板の周辺部を循環し、低沸点の冷媒を作動媒体として用いた冷媒循環回路を設け、この冷媒循環回路に減圧機構を連結する。

請求項（抜粋）：

原板のパターンを照明して直接または投影光学系を介して被露光物体上に露光する露光装置において、前記原板に気体または温度制御された気体を送風する送風手段と、前記気体または温度制御された気体の送風量、送風位置、または送風方向のいずれか1つ以上を制御する制御手段とを具備することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 521

Fターム (7件)：

5F046AA22 ,  5F046BA03 ,  5F046CB17 ,  5F046DA06 ,  5F046DA12 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02