特許

J-GLOBAL ID：200903040423883496

投影露光装置

発明者： 加藤 正紀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-017648
公開番号（公開出願番号）：特開平10-208991
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 投影露光装置の基板ステージに設けた基準マークのドリフトによる測定誤差を補正する。【解決手段】 基板ステージに設けられた基準マーク141,142と、その基板の位置を検出すると共に基準マークに対する位置を検出する第1の位置検出系と、基準マークと原版との相対位置を検出する第2の位置検出系と、基準マークと固定マーク151,152との相対位置を検出する第3の位置検出系と、第3の位置検出系にて得られる基準マークと固定マークとの相対位置に関する情報に基づいて、第1の位置検出系から出力される相対位置に関する第1の基準マーク検出信号と、第2の位置検出系から出力される相対位置に関する第2の基準マーク検出信号との少なくとも一方を補正する信号補正系とを備える。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成された原版を露光光によって照明する露光用照明系と、該露光用照明系によって照明された前記原版上のパターン像を感光性基板上に形成する投影光学系とを備え、前記原版上のパターンを前記感光性基板上に露光する投影露光装置において;前記感光性基板を載置すると共に前記投影光学系の像面に沿って移動する基板ステージと;前記基板ステージに設けられた基準マークと;前記感光性基板の位置を検出すると共に前記基準マークに対する位置を検出する第1の位置検出系と;前記基準マークと前記原版との相対位置を検出する第2の位置検出系と;パターンの投影のために前記原版が載置される位置と前記投影光学系との間に固設された固定マークと;前記基準マークと前記固定マークとの相対位置を検出する第3の位置検出系と;前記第3の位置検出系にて得られる前記基準マークと前記固定マークとの相対位置に関する情報に基づいて、前記第1の位置検出系から出力される基準マークと感光性基板との相対位置に関する第1の基準マーク検出信号と、前記第2の位置検出系から出力される前記基準マークと前記原版との相対位置に関する第2の基準マーク検出信号との少なくとも一方を補正する信号補正系と;を備えたことを特徴とする投影露光装置。