特許

J-GLOBAL ID：200903040424813840

感放射線性樹脂組成物

発明者： 諏訪 充史 ,  岩沢 晴生 ,  山本 将史 ,  梶田 徹
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-066074
公開番号（公開出願番号）：特開平11-249310
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして、特に保存安定性、放射線に対する透明性、解像度およびドライエッチング耐性が優れ、かつ感度、現像性、パターン形状等にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)下記一般式(1)で表される官能基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、【化1】〔一般式(1)において、R1 〜R5 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、R1 とR2 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成し、あるいはR3 とR4 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成しており、nは0〜3の整数である。〕、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される官能基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、【化1】〔一般式(1)において、R1 およびR2 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、あるいは相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成しており、R3 およびR4 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、あるいは相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成しており、R5 は、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、または5〜8員環の環状アルキル基を示し、nは0〜3の整数である。〕、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R