特許

J-GLOBAL ID：200903040426774183

露光装置および露光方法

発明者： 吉田 康
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
代理人 (1件)： 小堀 益 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-177689
公開番号（公開出願番号）：特開2002-367900
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：

【要約】【課題】 光学系による歪曲を補正し、所望のパターンと一致した形状で露光できるとともに、空間的および時間的に均一な照射強度で露光できる露光装置および露光方法の提供。【解決手段】 ほぼ平行な光束を、供給するための光源手段1と、互いに独立に向きを変化させることのできる多数の微小ミラーを有し、多数の微小ミラーの各々により光源手段1からの光束を反射して偏向する空間光変調手段2からなり、空間光変調手段2で反射偏向させた光束により被露光物体5に像を形成し、被露光物体5を露光する露光装置において、被露光物体近傍に配置した光検出手段81と、光検出手段81の出力に基づいて、空間光変調手段2の各微小ミラーの各々の向きを制御する制御手段9とを備えた露光装置。

請求項（抜粋）：

ほぼ平行な光束を供給するための光源手段と、互いに独立に向きを変化させることのできる多数の微小ミラーを有し、該多数の微小ミラーの各々により前記光源手段からの光束を反射して偏向する空間光変調手段からなり、前記空間光変調手段で反射偏向させた光束により被露光物体に像を形成し、前記被露光物体を露光する露光装置において、前記被露光物体近傍に配置した光検出手段と、前記光検出手段の出力に基づいて、前記空間光変調手段の前記各微小ミラーの各々の向きを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 A

Fターム (8件)：

5F046BA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB18 ,  5F046DA06 ,  5F046DA13 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12 ,  5F046DC14