特許

J-GLOBAL ID：200903040433677703

ウエハ保持装置

発明者： 山口 泰男 ,  西村 正
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-274090
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114645
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 1300°C以上の高温の熱処理工程においてもウエハの塑性変形が生じることのない、ウエハ保持装置を提供する。【構成】 複数本略平行に配された支柱3と、ウエハ6を保持するためにその支柱に取付けられたウエハ保持用支持板4とを備える。ウエハ保持用支持板4には、凹状に切欠いた凹部5が形成されている。

請求項（抜粋）：

複数本略平行に配された支柱と、シリコンウエハを保持するために、前記支柱に取付けられたウエハ保持用支持板とを備えたウエハ保持装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/38 ,  H01L 21/22