特許

J-GLOBAL ID：200903040435686050

露光装置及びその制御方法並びにデバイスの製造方法

発明者： 岩永 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-276745
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086492
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】 露光装置においてフォーカス計測ポイントとオフセット測定ポイントを高精度に一致させる。【解決手段】 走査開始後、ウエハステージ5がフォーカス計測可能位置Maへ移動し、さらに最初のフォーカス計測ポイントM0がウエハ上にあるスポットA〜Cまたはa〜cに達したときに、ウエハステージを制御するための基準信号とは非同期のタイミングでCCDセンサの蓄積サイクルを初期化することにより、フォーカス計測ポイントM0とオフセット測定ポイントを高精度に一致させる。

請求項（抜粋）：

露光装置であって、試料を載せて移動するウエハステージと、前記ウエハステージ上の試料が予め設定された位置に移動してくる都度、前記ウエハステージを制御するための基準信号とは非同期のタイミングで前記試料の面位置を検出する面位置検出器と、を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/02 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/02

FI (8件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 11/00 G ,  G01B 21/00 E ,  G01B 21/02 A ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 526 B ,  H01L 21/30 518

Fターム (48件)：

2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065AA37 ,  2F065BB03 ,  2F065BB25 ,  2F065CC19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL59 ,  2F065MM03 ,  2F065UU02 ,  2F065UU07 ,  2F069AA02 ,  2F069AA03 ,  2F069AA06 ,  2F069AA42 ,  2F069AA93 ,  2F069BB15 ,  2F069CC07 ,  2F069DD12 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG58 ,  2F069GG65 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ13 ,  2F069PP06 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046DA07 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC10 ,  5F046DD06