特許

J-GLOBAL ID：200903040437383062

エクストルージョン型の塗布装置

発明者： 川上 伸二 ,  美甘 尚伸 ,  川崎 直樹
出願人/特許権者： 日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-021971
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202159
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】 抜出す塗布液量と供給した塗布液量の差分量をスリット6を介してヘッド面より吐出し、ヘッド面に沿って連続的に走行するウエブ9に塗布するエクストルージョン型の塗布装置において、ウエブの塗布幅方向の中央において吐出量が少なくなって幅方向に塗布厚さのむらが発生するのを抑制し、高品質の薄膜塗布を行えるようにする。【解決手段】 スリット6のマニホールド5から吐出部までの長さは、供給口側の方を抜出し口側よりも長くして、抜出し口側に向けて直線的に変化させて短くする。抜出し口側のマニホールド5の断面積A2 は、供給口側の断面積A1 よりも小さく設定するとともに、マニホールド5の断面積を供給口側から抜出し口側へ向けて連続的に変化させ、マニホールド5を流動する塗布液の塗布幅方向での流速の変化を少なくする。

請求項（抜粋）：

コータヘッド1に、両端に供給口7および抜出し口8を備えたマニホールド5と、このマニホールド5からヘッド面へ向かって導通するスリット6とが形成されており、前記抜出し口8から抜出す塗布液の量は、供給口7から供給した塗布液の量よりも少なくして、その差分量をスリット6を介してヘッド面より吐出することにより、ヘッド面に沿って連続的に走行するウエブ9に塗布するようにしたエクストルージョン型の塗布装置において、抜出し口8側のマニホールド5の断面積A2 を供給口7側の断面積A1 よりも小さく設定するとともに、マニホールド5の断面積を供給口7側から抜出し口8側へ向かうにつれて連続的に変化させてあることを特徴とするエクストルージョン型の塗布装置。