特許
J-GLOBAL ID:200903040441517480
レーザ装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-346080
公開番号(公開出願番号):特開平5-183217
出願日: 1991年12月27日
公開日(公表日): 1993年07月23日
要約:
【要約】【目的】 不安定型共振器を構成する全反射ミラーのうち、レーザ光取出し用開口部を有する出口全反射ミラーの熱変形が少なく、安定性のあるレーザ装置を得る。【構成】 出口全反射ミラーはレーザ光取出し用開口部を有しており、その開口部を形成する側面の光軸方向の断面を、共振器内部からの光による開口部での回折光よりも深い角度のテーパを持つような形状に形成したことを特徴とする。また、別の発明は、出口全反射ミラーが、レーザ光の透過率が高い材質の基盤からなり、全反射コーティングを施したミラー部及び共振器を気密にするためのレーザ光出口窓として用いる無反射コーティングを施した開口部を持つことを特徴とする。
請求項(抜粋):
励起によりレーザ光を発生するレーザ媒質と、このレーザ媒質をはさんで互いに対向するように配置された全反射ミラー及び出口全反射ミラーとを有する不安定型共振器を備えたレーザ装置において、前記出口全反射ミラーは、レーザ光取出しのための開口部を有し、かつ、この開口部を形成する側面の光軸方向の断面を、共振器内部からの光による開口部での回折光よりも深い角度のテーパを持つような形状に形成したことを特徴とするレーザ装置。
IPC (3件):
H01S 3/034
, H01S 3/08
, H01S 3/086
FI (2件):
H01S 3/03 G
, H01S 3/08 Z
引用特許:
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