特許
J-GLOBAL ID：200903040447821181
ガラス基板の洗浄方法及びガラス基板の洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-035393
公開番号（公開出願番号）：特開平5-228449
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板を搬送、洗浄することにより、ガラス表面に固着する異物が除去されたガラス基板を、高い生産性で、安価に供給することができるガラス基板の洗浄方法およびガラス基板の洗浄装置を提供する。【構成】 本発明は、直径0.2〜3mmである合成繊維をドラムに植設してなる回転ブラシを、移動するガラス基板の表面に、洗浄水を散布しながら摺擦すると共に、その回転ブラシを一定の軌跡を繰り返ししながら、ガラス基板上を移動するようにして、ガラス基板を洗浄する方法及び装置である。
請求項（抜粋）：
搬送手段により搬送されると共に洗浄水を散布されているガラス基板を、直径が0.2〜3mmである合成繊維をドラムに植設してなる回転ブラシで、前記搬送手段によるガラス基板の搬送速度よりも早い回転速度で、かつ一定の軌跡を移動しながら前記ガラス基板表面を摺擦することを特徴とするガラス基板の洗浄方法。
IPC (5件)：
B08B 1/04
, A46B 13/02
, B08B 3/10
, G03F 1/08
, H01L 21/304 341
