特許

J-GLOBAL ID：200903040452690796

弾性表面波共振子フィルタ

発明者： 平石 明
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-044011
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254835
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、表面波の波長λに対しSiO2 膜厚を適正値に選定し、かつ、表面波の波長λに対し電極膜厚を適正値に選定して、周波数温度特性の改善、電気機械結合係数の増加したがって通過帯域特性の広帯域化、および反射器電極数の低減したがって小型化を図った弾性表面波共振子フィルタを提供することを目的とする。【構成】 本発明は、表面波の波長λに対し、入出力くし型電極の膜厚Tの比T/λを、2%≦T/λ≦5%とし、この入出力くし型電極とXカットLiTa03 基板上に、SiO2 を形成して、表面波の波長λに対し、前記SiO2 の膜厚Hの比H/λを、5%≦H/λ≦15%としたことを特徴とする弾性表面波共振子フィルタである。

請求項（抜粋）：

XカットLiTa03 基板上に、Y軸に対しほぼ112°方向に弾性表面波が伝播するように、2組の入出力くし型電極、この入出力くし型電極の両側に反射器電極が、それぞれ形成された弾性表面波共振子フィルタにおいて、表面波の波長λに対し、前記入出力くし型電極および反射器電極の膜厚Tの比T/λを、2%≦T/λ≦5%とし、この入出力くし型電極、反射器電極および前記基板上に、SiO2 を形成して、表面波の波長λに対し、前記SiO2 の膜厚Hの比H/λを、5%≦H/λ≦15%としたことを特徴とする弾性表面波共振子フィルタ。

IPC (3件)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/25 ,  H03H 9/64

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-037815
  
• 特開平4-040705
  
• 特開平2-037815
  
• 特開平4-040705