特許

J-GLOBAL ID：200903040469918537

薬液処理装置および薬液処理方法

発明者： 山田 智紀 ,  後藤 哲哉 ,  鈴木 哲男 ,  垣貫 剛広
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-066723
公開番号（公開出願番号）：特開平11-262718
出願日： 1998年03月17日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】被処理物の下面を少量の薬液で均一に薬液処理する薬液処理装置および薬液処理方法を提供する。【解決手段】被処理物を水平方向に搬送する手段と、該被処理物の下面に非接触状態で薬液を塗布する手段とを少なくとも具備する薬液処理装置において、薬液を塗布する手段が、平板と該平板に対向する平板との間隙から薬液を吐出するものであることを特徴とする薬液処理装置。

請求項（抜粋）：

被処理物を水平方向に搬送する手段と、該被処理物の下面に非接触状態で薬液を塗布する手段とを少なくとも具備する薬液処理装置において、薬液を塗布する手段が、平板と該平板に対向する平板との間隙から薬液を吐出するものであることを特徴とする薬液処理装置。

IPC (5件)：

B05C 5/02 ,  B05D 1/26 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

B05C 5/02 ,  B05D 1/26 Z ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/30 564 Z