特許
J-GLOBAL ID：200903040485020826
ペンタフェノール系化合物、その製法及び用途
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-026079
公開番号（公開出願番号）：特開平9-194413
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：
【要約】【課題】 レジストなどの感光剤又はアルカリ可溶性低分子量添加剤として有用なフェノール系化合物を提供し、それを用いてレジスト性能の向上を図る。【解決手段】 式(I)で示される化合物。R1 〜R5 は各々水素又は1,2-ナフトキノンジアジド-4-若しくは-5-スルホニルを、R6 〜R14は各々水素、アルキル、アルコキシ、アルケニル又はシクロアルキルを表し、R15は水素、アルキル、アルケニル又はシクロアルキルを表す。R1 〜R5 がすべて水素である化合物は、感光性樹脂組成物のアルカリ可溶性低分子量添加剤として用いることができ、またこれを1,2-ナフトキノンジアジド-4-又は-5-スルホニルハライドでエステル化してR1 〜R5 の少なくとも一つが1,2-ナフトキノンジアジドスルホニルとなった化合物は、アルカリ可溶性樹脂と混合して感光性樹脂組成物となる。
請求項（抜粋）：
式(I)(式中、R1 、R2 、R3 、R4 及びR5 は互いに独立に、水素又は1,2-ナフトキノンジアジド-4-若しくは-5-スルホニルを表し、 R6 、R7 、R8 、R9 、R10、R11、R12、R13及びR14は互いに独立に、水素、炭素数1〜6のアルキル、炭素数1〜6のアルコキシ、炭素数2〜6のアルケニル又は炭素数6以下のシクロアルキルを表し、R15は水素、炭素数1〜6のアルキル、炭素数2〜6のアルケニル又は炭素数6以下のシクロアルキルを表す)で示されるペンタフェノール系化合物。
IPC (8件)：
C07C 39/15
, C07C 37/16
, C07C247/16
, C07C317/22
, C08K 5/13 KAU
, C08L 61/06 LMR
, C08L101/00 LSY
, G03F 7/022
C07C 39/15
, C07C 37/16
, C07C247/16
, C07C317/22
, C08K 5/13 KAU
, C08L 61/06 LMR
, C08L101/00 LSY
, G03F 7/022
